1.芯片廠酸性廢氣概述

隨著科技進(jìn)度，我國(guó)芯片制造行業(yè)飛速發(fā)展，行業(yè)技術(shù)日新月異，產(chǎn)品規(guī)模持續(xù)走高。芯片在制造工藝中使用各種酸液清洗、刻蝕芯片等過(guò)程中產(chǎn)生HF、HCl、硫酸霧等酸性氣體。對(duì)于芯片廠企業(yè)在生產(chǎn)工藝過(guò)程中產(chǎn)生的腐蝕性氣體（如酸、堿性廢氣）的治理，目前大多企業(yè)采用液體吸收法治理，采用液體吸收法治理該廢氣，關(guān)鍵在于廢氣凈化設(shè)備的選擇。酸性廢氣治理通常采用噴淋塔，通過(guò)酸堿中和反應(yīng)來(lái)凈化酸性氣體。

2.噴淋塔工作原理

噴淋塔凈化原理是將氣體中的污染物質(zhì)分離出來(lái)，轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)，以達(dá)到凈化氣體的目的。它屬于微分接觸逆流式，塔體內(nèi)的填料是氣液兩相接觸的基本構(gòu)件，塔體外部的氣體進(jìn)入塔體后，氣體進(jìn)入填料層，填料層上有來(lái)自于頂部噴淋液體及前面的噴淋液體，并在填料上形成一層液膜，氣體流經(jīng)填料空隙時(shí)，與填料液膜接觸并進(jìn)行吸收或綜合反應(yīng)，填料層能提供足夠大的表面積，對(duì)氣體流動(dòng)又不致于造成過(guò)大的阻力，經(jīng)吸收或綜合后的氣體經(jīng)除霧器收集后，經(jīng)出風(fēng)口排出塔外。

3.芯片廠廢氣處理工藝說(shuō)明

生產(chǎn)車間酸洗池酸霧廢氣經(jīng)風(fēng)罩收集，經(jīng)管道再進(jìn)入酸性廢氣凈化設(shè)備，酸霧凈化塔體放置二層填料層并配置二級(jí)水浴裝置，并在循環(huán)水池內(nèi)加氫氧化鈉（簡(jiǎn)稱堿），以中和廢氣中的酸霧，酸霧處理塔的上端噴頭噴出吸收液均勻分布在填料上，廢氣與吸收液在填料表面上充分接觸，由于填料的機(jī)械強(qiáng)度大、耐腐蝕、空隙率高、表面大的特點(diǎn)，廢氣與吸收液在填料表面有較多的接觸面積和反應(yīng)時(shí)間。凈化后的氣體會(huì)飽含水份經(jīng)過(guò)塔頂?shù)某F裝置去除水份后直接排放大氣中。

4.噴淋塔應(yīng)用范圍

酸性廢氣凈化設(shè)備廣泛用于電子、化工、電鍍、五金、制藥、印染、半導(dǎo)體制造等行業(yè)中產(chǎn)生的有害廢氣，如：鹽酸（HCI)、氟化氫氣體（HF）、氨氣（NH3）、硫酸霧（H2SO4)、鉻酸霧（CrO3)、氫氰酸氣體（HCN)、堿蒸汽（NaOH)、硫化氫氣體（H2S)、福爾馬林（HCHO）等水溶性氣體。